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在當今的科技浪潮中，微機電系統(tǒng)（MEMS）以其獨特的魅力和廣泛的應用前景，成為了科研和技術創(chuàng)新的熱點。MEMS，即Micro Electro Mechanical Systems，是一種融合了微電子和微機械技術的微型化裝置。這種裝置運用了半導體生產(chǎn)工藝技術，能夠在微觀尺度上實現(xiàn)復雜的機械運動與電子功能的集成。

MEMS技術以其高精度、高集成度和低功耗等特點，在航空航天、生物醫(yī)療、消費電子等多個領域展現(xiàn)出巨大的應用潛力。從微小的傳感器到復雜的微型機器人，MEMS正在不斷拓展其邊界，為未來的科技發(fā)展描繪出一幅幅令人矚目的藍圖。

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